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微機電系統(tǒng)中常用哪些類型的傳感器

問 提問者：網友 2018-08-27
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微機電系統(tǒng)中的傳感器主要指機械式傳感器。包括： 微加速度傳感器，微壓力傳感器，微角速度傳感器（微陀螺儀），微聲壓傳感器（微麥克風）， 微懸臂梁式生化傳感器（包括靜態(tài)式，諧振式）（原理：生化反應引起表面應力變化及附加質量效應，從而導致微懸臂梁的靜態(tài)變形和諧振頻率變化） 濕度傳感器，溫度傳感器，磁場傳感器等
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