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求滑閥式真空泵原理圖

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問 提問者：網(wǎng)友 2017-01-17
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滑閥式真空泵抽氣原理與旋片泵相似兩者結構同滑閥式真空泵利用滑閥機構改變吸氣腔容積故稱滑閥泵 滑閥泵亦單級泵雙級泵兩種立式臥式兩種結構形式單級泵極限壓力0.4~1.3Pa;雙級泵極限壓力6×10-2 -10-1Pa般抽速超150L/S泵都采用單級形式種泵單獨使用作其泵前級泵用 1.工作原理 滑閥泵結構主要由泵體及其內部作偏轉滑閥、半圓形滑閥導軌、排氣閥、軸等組(見圖11)圖11:滑閥式真空泵結構原理圖泵體裝滑閥環(huán)(4)滑閥環(huán)內裝偏輪(3)偏輪固定軸(2)軸與泵體線相重合滑閥環(huán)裝形滑閥桿(5)能半圓形滑閥導軌(7)滑及左右擺泵腔滑閥環(huán)滑閥桿隔A、B兩室泵運轉程由于A、B兩室容積周期性改變使抽氣體斷進入逐漸增容積吸氣腔;同排氣腔隨著其容積縮使氣體受壓縮并通排氣閥排泵外 雙級型滑閥泵實際由兩單級泵串聯(lián)起高、低真空室同泵體直接鑄整體壓入隔板泵腔高、低兩室
回答者：網(wǎng)友
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